[포토공정] 훈련 1 : "포토공정에 대해서 설명하세요"

[질문 1]. Photo Lithography 공정에 대해서 설명하세요.Keyword : [반도체 회로, 규격화된 빛, 이미지 패턴, 전사, 미세화, Photoresist, 후속공정의 barrier]포토 공정은 설계한 반도체 회로 정보를 포함한 마스크에 규격화된 빛을 이용하여 웨이퍼 위에 이미지 패턴을 전사시키는 공정입니다. 웨이퍼에 감광물질인 Photoresist (PR)을 도포한 후, 마스크 패턴을 정렬하고 UV 등의 빛을 노광시켜 회로 패턴을 얻습니다. 형성된 감광막 패턴은 후속공정인 식각 혹은 이온 주입 시 Barrier 역할을 수행합니다. [질문 2]. 포토공정의 Process에 대해서 설명해주세요.Keyword : [Wafer 로딩, HMDS, 스핀코팅, Alignment, 노광, PR, So..