[반도체 시사] 하프늄 전구체!, 반도체 소재 기업들 간의 전쟁.

반도체 산업의 생태계를 살펴보면 소재 기업 또한 뺴놓을 수 없습니다. EUV가 출현했을 당시, EUV 용 고해상도 Photoresist, 높은 투명도를 가지는 펠리클 등 소재 기업들의 생태계 또한 매우 치열합니다.

해당 기사 또한 미세화 트랜드에 따른 High-k 소재의 도입으로 인한 뜨거운 싸움에 대한 내용이네요.

---

하프늄 전구체 춘추전국시대 열릴까?

버슘머트리얼즈코리아 (현 Merk)가 일본 트리케미칼레버토리(TCLC)를 상대로 제기한 하프늄(Hf) Precursor 특허 무효 심판 결과에 반도체 업계들이 큰 관심을 가지고 있습니다. 결과에 따라 국내 하프늄 전구체 산업은 반도체 생태게에도 큰 영향을 미칠 것으로 예상됩니다. 특허심판에서 버슘 측이 승소할 경우, 약 3,000억원 규모의 Hf Precursor 시장은 '춘추전국시대'를 맞을 것으로 전망됩니다.

• Precursor란 화학반응을 통해 Product를 얻기 전 단계의 물질을 말합니다. High-k Precursor는 현재 DRAM의 핵심 요소인 Capacitor 위에 원자층 단위의 박막으로 형성되어 전하의 저장 유무로 0과 1을 판정합니다. 선폭이 좁아질수록 Capacitor 간 간섭 문제를 해결하기 위해서 유전율이 높은 High-k가 요구되는 것입니다.
• 하프늄은 DRAM Capacitor나 Metal Gate의 Insulator로 HKMG (High-k Metal Gate) 공정의 핵심 재료입니다. 하프늄 종전에는 지르코늄(Zr)계열이 적용됐었으나, 최근 미세화 트랜드에 따라 하프늄의 비중이 지속적으로 높아지고 있습니다.
• 올해 삼성전자, SK하이닉스가 구매 예정인 하프늄 전구체의 물량은 약 3,000억원 규모에 이를 것으로 예상됩니다. 이 같은 상황에서 제기된 이번 특허무효 심판은 그 결과에 따라 적지않은 영향을 미칠 것입니다.
• 삼성전자의 경우 하프늄 전구체를 전량 '아데카코리아'로부터 공급받으며, 2023년까지 하프늄 전구체 독점 공급계약을 체결한 것으로 알려졌습니다.
• SK하이닉스의 경우 SK트리켐이 레이크머티리얼즈, 유피케미칼 등으로부터 재료를 공급바다 재가공을 통해 SK하이닉스로 납품하는 구조를 가집니다. 
• 아데카코리아와 SK트리켐이 각각 삼성전자와 SK하이닉스에 하프늄 전구체 공급을 주도하는 구조입니다.
• 특허 심판의 결과에 따라 예상되는 시나리오.
  1. 버슘의 승!
  -. 일본 TCLC의 특허를 인정하지 않고, 무효심판을 내린다면 하프늄 전구체 시장은 춘추전국시대에 돌입.
  -. 버슘코리아 (현 Merk)는 지난 8월 메카로 전구체사업부 인수.
  -. 무효심판을 계기로 버슘은 보다 공격적인 영업을 진행할 것으로 예상.
  -. 삼성전자와 SK하이닉스는 꾸준히 하프늄 전구체 공급망 이원화를 추진했었고, 버슘이 승소할 경우, 레이크머트리얼즈가 SK트리캠을 거치지 않고 직거래를 통해 SK하이닉스에 공급할 가능성도 보임. 
  -. 삼성전자 또한 이데카코리아 외에 버슘, 디엔에프 등으로 공급망 확대.
  
  2. TCLC의 특허가 인정
  -. SK하이닉스는 기존대로 SK트리캠을 통해 하프늄 전구체를 공급
  -. 문제는 삼성전자. TCLC 특허가 공식적으로 인정된 만큼 아데카코리아는 TCLC와 라이센스 계약을 맺거나 다른 방안을 모색해야 함. 삼성전자가 SK트리캠에게 손을 벌리는 상황이 발생할 수도 있음. 
  -. 삼성전자가 이번 특허 심판 결과를 예의주시하는 이유임.
  
  3. TCLC가 버슘에게 라이센스를 주고 화해하는 경우.
  -. 특허방어를 끝까지 진행하다 무효심판이라도 나온담녀 버슘 외 다른 기업에게도 특허가 오픈 될 수 있음.
  -. 현재 TCLC의 특허는 2026년 11월까지 유효함.
• "이번 특허심판은 외형상 버슘(현 Merk)와 TCLC의 공방으로 보여지지만, SK트리캠을 시작으로 레이크머티리얼즤, 유피케미칼, 디엔에프는 물론 삼성전자와 SK하이닉스의 공급망에도 영향을 미칠 수 있는 사안"

▼▼▼ 참고기사 디일렉 ▼▼▼

하프늄 전구체 춘추전국시대 열릴까? 내년 2월 특허심판에 쏠린 눈 - 전자부품 전문 미디어 디일